YED-700
EB-900
蒸发系统
1、蒸发源类型：电子束蒸发、热蒸发、高频感应蒸发、离子源辅助蒸发；
2、应用类型：金属蒸发和介电材料蒸发；
3、型号：
3.1、金属蒸发类：YEM-450、YEM-700、YEM-800、YEM-900 ，数字代表腔室尺寸；
3.2、介质膜蒸发类：YED-450、YED-700、YED-800、YED-900 ，数字代表腔室尺寸；
4、标准组成：工艺室、真空系统、控温系统、气路传输系统、机械系统、蒸发源、全自动程序控制系统、安全系统；
5、可选配置：石英晶体膜厚控制器、辅助离子源（射频源和霍尔源）、单片/多片自动进样室等；
2、应用类型：金属蒸发和介电材料蒸发；
3、型号：
3.1、金属蒸发类：YEM-450、YEM-700、YEM-800、YEM-900 ，数字代表腔室尺寸；
3.2、介质膜蒸发类：YED-450、YED-700、YED-800、YED-900 ，数字代表腔室尺寸；
4、标准组成：工艺室、真空系统、控温系统、气路传输系统、机械系统、蒸发源、全自动程序控制系统、安全系统；
5、可选配置：石英晶体膜厚控制器、辅助离子源（射频源和霍尔源）、单片/多片自动进样室等；
蒸发系统：
1、蒸发源类型：电子束蒸发、热蒸发、高频感应蒸发、离子源辅助蒸发；
2、应用类型：金属蒸发和介电材料蒸发；
3、型号：
3.1、金属蒸发类：YEM-450、YEM-700、YEM-800、YEM-900 ，数字代表腔室尺寸；
3.2、介质膜蒸发类：YED-450、YED-700、YED-800、YED-900 ，数字代表腔室尺寸；
4、标准组成：工艺室、真空系统、控温系统、气路传输系统、机械系统、蒸发源、全自动程序控制系统、安全系统；
5、可选配置：石英晶体膜厚控制器、辅助离子源（射频源和霍尔源）、单片/多片自动进样室等；
长沙元戎科技有限责任公司产品中心：共焦磁控磁控溅射系统、蒸发系统、反应磁控溅射系统、多工艺腔室集成系统、专用定制系统、连续生产线
