YCS-650-天津华慧芯双腔室-1
YCS-500-安徽光智-1
多工艺腔室集成系统
1、我司可根据用户需求定制多工艺腔室集成系统，国际称之为多腔室Cluster系统；
2、系统组成：单片/多片进样/储样室、传导室、多工艺腔室（不同数量/不同功能/相同功能等）、溅射/蒸发系统、离子源辅助系统、真空系统、加热/冷却系统、气体传输系统、全自动程序控制系统等；
2、系统组成：单片/多片进样/储样室、传导室、多工艺腔室（不同数量/不同功能/相同功能等）、溅射/蒸发系统、离子源辅助系统、真空系统、加热/冷却系统、气体传输系统、全自动程序控制系统等；
多工艺腔室集成系统：
1、我司可根据用户需求定制多工艺腔室集成系统，国际称之为多腔室Cluster系统；
2、系统组成：单片/多片进样/储样室、传导室、多工艺腔室（不同数量/不同功能/相同功能等）、溅射/蒸发系统、离子源辅助系统、真空系统、加热/冷却系统、气体传输系统、全自动程序控制系统等；
长沙元戎科技有限责任公司产品中心：共焦磁控磁控溅射系统、蒸发系统、反应磁控溅射系统、多工艺腔室集成系统、专用定制系统、连续生产线
