YIL-400-唐山斯滕光电-1
YIL-400-2-唐山斯滕光电-1
连续生产线
最大可以镀制直径400mm工件，工件允许的最大高度150mm:直径400mm有效镀膜区域内,镀膜均匀性优于士5%,镀膜重复性优于土3%(均匀性指标仅对平面工件)
连续生产线：
最大可以镀制直径400mm工件，工件允许的最大高度150mm:直径400mm有效镀膜区域内,镀膜均匀性优于士5%,镀膜重复性优于土3%(均匀性指标仅对平面工件)
长沙元戎科技有限责任公司产品中心：共焦磁控磁控溅射系统、蒸发系统、反应磁控溅射系统、多工艺腔室集成系统、专用定制系统 、连续生产线
